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一般三坐標(biāo)校準(zhǔn)保養(yǎng)過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關(guān)備份文件；

2、清理三坐標(biāo)導(dǎo)軌；

3、檢查外罩；

4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管；

5、檢查氣體過濾機(jī)構(gòu)，并對(duì)之進(jìn)行基本保養(yǎng)和維護(hù)；

6、檢查z軸安全保護(hù)裝置，檢查氣動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)；

7、檢查和清洗氣浮軸承；

8、檢查調(diào)整電氣和機(jī)械行程開關(guān)；

9、檢查和調(diào)整傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)；

10、檢查和調(diào)整測(cè)量機(jī)水平；

11、檢查和調(diào)整三坐標(biāo)橫梁與xY工作平面的平行；

12、最好用激光干涉儀檢測(cè)和補(bǔ)償測(cè)量機(jī)各軸誤差。

（來源：測(cè)量俱樂部）